波長型X射線熒光光譜儀具有真空測量室和超薄探測器輸入窗口,測量分析精度高,可測元素范圍高達(dá)9F~17Cl。
波長型X射線熒光光譜儀采用高性能硅漂移探測器SDD,能量分辨率低到135eV，可定義測量幾乎所有元素譜線，可分析多種元素多成分物質(zhì)，比如高合金鋼，精密合金，多金屬礦石等。
波長型X射線熒光光譜儀簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡便，分析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達(dá)ppm量級，輕元素稍差，分析樣品不被破壞，分析快速，準(zhǔn)確，便于自動化。
波長型X射線熒光光譜儀的性能好壞如何判斷呢？可從以下四個方面去考慮。
1、波長范圍。波長范圍是X熒光光譜儀所能測量的波長區(qū)間。使用新型探測器可以使之前的范圍拓展一些距離，即覆蓋紫外、可見和近紅外波段。光柵的類型以及探測器的類型會影響波長范圍。
2、波長分辨率。波長分辨率描述了光譜儀能夠分辨波長的能力，波長分辨率與波長的取樣間隔是兩個不一樣的概念。高的波長分辨率意味著窄額度波長范圍
3、噪聲等效功率和動態(tài)范圍。當(dāng)信號的值與噪聲的值相當(dāng)?shù)臅r候，從噪聲中分辨信號就會困難。一般用與噪聲相當(dāng)?shù)男盘柕闹祦肀碚髂芤粋€光譜儀所能夠測量的弱的光強(qiáng)。噪聲等效功率越小，光譜儀就可以測量弱的信號。
4、敏度與信噪比。敏度描述了X熒光光譜儀把光信號變成電子學(xué)信號的能力，高的敏度減小電路本身的噪聲對結(jié)果影響。狹縫的寬度、光柵的類型、探測器的類型以及電路的參數(shù)都會影響敏度。人為地調(diào)高前置放大電數(shù)也會提高名義上的敏度，但并不實(shí)際的測量。
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